光譜儀在分析過程中產生誤差是難免的。誤差來源很多，就光電光譜分析來講，除了標準樣品和分析樣品的成分不均勻，組織狀況不一致外，光譜的性能不穩定和樣品表面處理不當，以及氬氣純度不夠都會產生誤差。所以對每一位分析者來講，了解產生誤差的原因以及進一步研究消除誤差的方法是非常重要的。激發光源是光電光譜儀中一個極為重要的組成部分，它的作用是給分析試樣提供蒸發、原子化或激發的能量。在光譜分析時試樣的蒸發、原子化或激發之間沒有明顯界限，這些過程式幾乎是同時進行。
而這一系列過程均直接影響到分析結果。樣品中組分析元素的蒸發、離解、激發、電離、譜線的發射以及光譜線的強度除了與試樣成分的熔點、沸點、原子量、化學反應、化合物的離解能、元素的電離能、激發能、原子（離子）的能級物理和化學性質有關以外，還跟所使用的光源特性密切相關。不同的激發光源對各類樣品、各種元素具有不同的蒸發行為和激發能量，因此要根據不同的分析對象，選擇具有相應特性的激發光源。
光譜儀的應用領域：
1、合金材料分析
目前在合金材料檢測領域，它主嬰用于軍工、航天、鋼鐵、石化、電力、制藥等領城金屬材科中元素成份的現場測定，是伴隨世界經濟崛起的工業和軍事制造領域不可少的快速成份鑒定工具。
2、重金屬檢測
除了傳統的合金材料檢測、貴金屬，RoHs臺現篩查、礦石分析，手持式XRF儀器同樣在地質勒探和環填評估中發擔看重都的作用，通過分析士壤中的重金屬元素，可以知道整個區域的礦產分布和污染分布。
3、其他領域
XRF技術還可以用于一些新的領城，比如風電和汽車領城，通過對油品中全屬元素金盤進行檢測，可以間接反映軸承的磨損情況。還有許多新的XRF應用領減正在破開發出來，使得XRF技術在容個行業領城得到了廣泛的應用，比如工廠的生產制近環節的焊接質量控制，也會用到XRF會監分析儀。
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